쏘(saw)소자용 초고주파 인터디지탈 트랜스듀서

Abstract

본 고안은 쏘(SAW:surface acoustic wave)소자에서 사용되는 인터디지탈 트랜스듀서(IDT:interdigital transducer)에 관한 것으로, 특히 단일 전극으로 인터디지탈 트랜스듀서를 구성함으로써, 종래 높은 주파수에서의 인터디지탈 트랜스듀서보다 덜 미세하게 전극을 가공할 수 있는 쏘(SAW) 소자용 초고주파 인터디지탈 트랜스듀서에 관한 것이다. 본 고안에 의한 초고주파 인터디지탈 트랜스듀서는 압전체 물질로서 표면탄성파를 발생시킬 수 있는 압전체 기판과, 상기 압전체 기판위에 서로 맞물리는 빗살 모양을 하고 입력 전기신호를 받아 표면탄성파를 여기시키는 입력트랜스듀서와, 상기 압전체 기판위에 서로 맞물리는 빗살 모양을 하고 상기 입력전극으로부터 표면탄성파를 받아 전기신호를 출력시키는 출력 트랜스듀서를 구비하는 쏘(SAW) 소자에 있어서, 단일 전극으로 이루어진 압력 트랜스듀서를 구비하여, 종래 높은 주파수에서의 인터디지탈 트랜스듀서보다 덜 미세하게 전극을 가공할 수 있는 쏘(SAW) 소자용 초고주파 인터디지탈 트랜스듀서를 제공하는 것이다.

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